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  • 清華大學徐志平課題組–電介質襯底上均勻石墨烯單分子層的初級成核主導化學氣相沉積生長

    清華大學徐志平課題組–電介質襯底上均勻石墨烯單分子層的初級成核主導化學氣相沉積生長

    產業資訊 / Industry 2019年9月9日 6096

    高質(zhi)量(liang)石(shi)(shi)墨(mo)烯(xi)在(zai)介電(dian)(dian)基(ji)(ji)(ji)板上的(de)(de)直接化(hua)學氣(qi)相(xiang)沉積生(sheng)長為(wei)電(dian)(dian)子和(he)(he)光電(dian)(dian)子學中的(de)(de)實際應用提供了(le)(le)廣闊(kuo)的(de)(de)前(qian)(qian)景。然(ran)而,石(shi)(shi)墨(mo)烯(xi)在(zai)電(dian)(dian)介質(zhi)上的(de)(de)生(sheng)長總是存在(zai)不均(jun)勻性和(he)(he)/或質(zhi)量(liang)差的(de)(de)問題。在(zai)此,本文(wen)首先揭示(shi)了(le)(le)一種新的(de)(de)前(qian)(qian)體修(xiu)飾策略可以成(cheng)功地抑(yi)制石(shi)(shi)墨(mo)烯(xi)的(de)(de)二次成(cheng)核,從而在(zai)介電(dian)(dian)基(ji)(ji)(ji)板上形成(cheng)超均(jun)勻的(de)(de)石(shi)(shi)墨(mo)烯(xi)單層膜(mo)。研究機理(li)發現(xian),二氧化(hua)硅基(ji)(ji)(ji)質(zhi)的(de)(de)羥基(ji)(ji)(ji)化(hua)削弱了(le)(le)石(shi)(shi)墨(mo)烯(xi)邊緣與基(ji)(ji)(ji)底之間的(de)(de)結(jie)合,從而實現(xian)了(le)(le)初級成(cheng)核主導(dao)的(de)(de)生(sheng)長。基(ji)(ji)(ji)于石(shi)(shi)墨(mo)烯(xi)薄(bo)膜(mo)的(de)(de)場(chang)效應晶體管顯示(shi)…

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